垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 陈弘达; 申荣铉; 毛陆虹; 唐君; 裴为华; 高鹏; 崔增文 |
| 发表日期 | 2004-09-22 |
| 专利号 | CN1530681A |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块及制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明一种垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块，其中包括：一高频印制电路板，在该高频印制电路板的一端形成有一信号输入端口，该信号输入端口采用镀金的插板结构；一垂直腔面发射激光器列阵，该垂直腔面发射激光器列阵以裸片的形式直接集成在一硅片底座上，再用粘接的方式粘接在高频印制电路板上面；一驱动电路芯片，该驱动电路芯片以裸片的形式直接集成在高频印制电路板上面；该垂直腔面发射激光器列阵与驱动电路芯片用金丝连接，该驱动电路芯片与高频印制电路板用金丝连接，构成并行光发射模块。 |
| 公开日期 | 2004-09-22 |
| 申请日期 | 2003-03-14 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91464]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈弘达,申荣铉,毛陆虹,等. 垂直腔面发射激光器列阵的并行光发射模块及制作方法. CN1530681A. 2004-09-22. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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