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氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件

文献类型:专利

作者神川刚; 太田征孝
发表日期2011-01-12
专利号CN101944480A
著作权人夏普株式会社
国家中国
文献子类发明申请
其他题名氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件
英文摘要本发明提供一种氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件。该氮化物半导体芯片由于改善的EL发射图案和改善的表面形态(平坦度)而提供增加的发光效能和提高的良率。该氮化物半导体激光器芯片(氮化物半导体芯片)包括:GaN基板,具有主生长面;以及形成在GaN基板的主生长面上的各氮化物半导体层。主生长面是相对于m面在a轴方向上具有偏角的面,并且各氮化物半导体层包括AlGaN下覆层。该下覆层形成为接触GaN基板的主生长面。
公开日期2011-01-12
申请日期2010-07-02
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91584]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位夏普株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
神川刚,太田征孝. 氮化物半导体芯片及其制造方法以及半导体器件. CN101944480A. 2011-01-12.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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