分布反馈型半导体激光元件、分布反馈型半导体激光元件的制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 上辻哲也; 川崎和重; 南政史 |
| 发表日期 | 2015-07-29 |
| 专利号 | CN104810723A |
| 著作权人 | 三菱电机株式会社 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 分布反馈型半导体激光元件、分布反馈型半导体激光元件的制造方法 |
| 英文摘要 | 本发明的目的在于提供一种能够缩短电子束光刻所需的时间的分布反馈型半导体激光元件以及分布反馈型半导体激光元件的制造方法。该分布反馈型半导体激光元件的特征在于，具有：衬底(12)；活性层(16)，其形成在该衬底(12)的上方；以及衍射光栅(20)，其具有第1图案(20a)以及比该第1图案(20a)短且与该第1图案(20a)的中央部相对的第2图案(20b)，对该活性层(16)产生的光进行衍射。 |
| 公开日期 | 2015-07-29 |
| 申请日期 | 2015-01-22 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91819]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 三菱电机株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 上辻哲也,川崎和重,南政史. 分布反馈型半导体激光元件、分布反馈型半导体激光元件的制造方法. CN104810723A. 2015-07-29. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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