条形半导体激光芯片及其制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 马场靖夫; 松下保彦; 后藤幸夫 |
| 发表日期 | 2010-06-09 |
| 专利号 | CN101728766A |
| 著作权人 | 三洋电机株式会社 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 条形半导体激光芯片及其制造方法 |
| 英文摘要 | 一种条形半导体激光芯片，可以抑制振荡波长的变化。所述条形半导体激光芯片具有氮化物半导体衬底和半导体层，所述半导体层形成在所述氮化物半导体衬底的主表面上，并且包括多个激光芯片部分。所述多个激光芯片部分在[11-20]方向上形成阵列。氮化物半导体衬底的主表面是在沿着[11-20]方向的方向上具有偏角的(0001)面。氮化物半导体衬底的主表面的中央部分具有在沿着[11-20]方向的方向上偏离(0001)面0.05±0.1度的偏角。 |
| 公开日期 | 2010-06-09 |
| 申请日期 | 2009-10-28 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91835]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 三洋电机株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马场靖夫,松下保彦,后藤幸夫. 条形半导体激光芯片及其制造方法. CN101728766A. 2010-06-09. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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