光素子内蔵基板及びその製造方法
文献类型：专利
| 作者 | 石塚 剛 |
| 发表日期 | 2004-10-21 |
| 专利号 | JP2004296842A |
| 著作权人 | 富士通株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 光素子内蔵基板及びその製造方法 |
| 英文摘要 | 【課題】光素子と光導波路との距離を短くして両者の間にレンズを設ける必要をなくし、光素子と光導波路とを容易に光結合できる光素子内蔵基板及びその製造方法を提供することである。 【解決手段】コア基板101と裏板108との間には、VCSEL(面発光レーザ)102が内臓されている。このVCSEL102は、例えば半導体基板上にエッチングストップ層104を介して形成した後、エッチングにより半導体基板を除去したものであり、極めて薄く形成されている。裏板108は、透光性接着剤109により、コア基板101に接合されている。 【選択図】 図2 |
| 公开日期 | 2004-10-21 |
| 申请日期 | 2003-03-27 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/91911]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 富士通株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 石塚 剛. 光素子内蔵基板及びその製造方法. JP2004296842A. 2004-10-21. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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