用于生长悬臂外延的衬底及其制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 白好善; 张泰勋; 成演准; 司空坦; 梁旼镐 |
| 发表日期 | 2007-08-29 |
| 专利号 | CN101026092A |
| 著作权人 | 三星电子株式会社 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 用于生长悬臂外延的衬底及其制造方法 |
| 英文摘要 | 本发明提供了一种悬臂外延生长衬底及其制造方法。所述悬臂外延生长衬底包括：衬底；用于悬臂外延生长的多个图案区，沿第一方向形成在所述衬底上；和至少一个溶液阻隔层，接触所述多个图案区并沿第二方向形成在所述衬底上，因此防止半导体装置由于悬臂外延生长工艺中的半导体装置的空气间隙和百分比缺陷而导致的污染。 |
| 公开日期 | 2007-08-29 |
| 申请日期 | 2006-11-15 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92031]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 三星电子株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 白好善,张泰勋,成演准,等. 用于生长悬臂外延的衬底及其制造方法. CN101026092A. 2007-08-29. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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