一种聚合物辅助键合的混合型激光器及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 许兴胜; 秦璐; 黎星云 |
| 发表日期 | 2017-05-31 |
| 专利号 | CN106785887A |
| 著作权人 | 中国科学院半导体研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种聚合物辅助键合的混合型激光器及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种聚合物辅助键合的混合型激光器及其制备方法。混合型激光器包括：带有透明导电介质ITO的硅基波导微腔结构；带有自然解理形成法布里‑波罗腔的Ⅲ‑Ⅴ族激光器；Ⅲ‑Ⅴ族激光器位于硅基波导微腔结构之上，二者通过PVA辅助键合材料键合，Ⅲ‑Ⅴ族激光器的n型衬底接触硅基波导微腔结构上的ITO透明导电层，通过在金属电极和ITO上施加电压使得Ⅲ‑Ⅴ族激光器实现电学泵浦。该制备方法包括：制备带有透明导电介质的硅基波导微腔结构；制作Ⅲ‑Ⅴ族激光器，并对Ⅲ‑Ⅴ族激光器的衬底进行减薄；对硅基波导微腔结构上的聚合物进行聚合物软化，增加聚合物的粘度，并将Ⅲ‑Ⅴ族激光器置于带有透明导电介质的硅基波导微腔结构之上，使二者对准键合。 |
| 公开日期 | 2017-05-31 |
| 申请日期 | 2016-12-29 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92064]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 中国科学院半导体研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许兴胜,秦璐,黎星云. 一种聚合物辅助键合的混合型激光器及其制备方法. CN106785887A. 2017-05-31. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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