十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管的制备
文献类型：专利
| 作者 | 徐春祥; 戴俊; 朱刚毅; 石增良 |
| 发表日期 | 2012-06-13 |
| 专利号 | CN102496852A |
| 著作权人 | 东南大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管的制备 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种结合p型氮化镓衬底制备十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管方法。该方法首先利用高温气相传输法制备具有十二边形截面的氧化锌微米棒。将氧化锌微米棒分散在p型氮化镓衬底上形成pn结构器件，然后利用旋涂方法将聚甲基丙烯酸甲酯薄膜沉积在pn结构器件表面，利用反应离子束刻蚀使氧化锌微米棒上表面从聚甲基丙烯酸甲酯薄膜中显露出来，最后采用磁控溅射技术在p型氮化镓表面和氧化锌微米棒表面制备电极，从而形成回音壁模紫外微激光异质结二极管。该方法利用光线在十二边形氧化锌微米棒内的内壁全反射构成高品质的回音壁模微激光，通过选择不同尺寸的氧化锌微米棒可实现不同要求的紫外激光输出波长。 |
| 公开日期 | 2012-06-13 |
| 申请日期 | 2011-12-27 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92081]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 东南大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐春祥,戴俊,朱刚毅,等. 十二边形氧化锌回音壁模紫外微激光异质结二极管的制备. CN102496852A. 2012-06-13. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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