一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 施跃春; 肖如磊; 陈向飞; 张云山; 郑吉林; 陆骏 |
| 发表日期 | 2016-05-04 |
| 专利号 | CN105552717A |
| 著作权人 | 南京大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法 |
| 英文摘要 | 本申请公开了一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法。该方法包括：制作用于构成激光器混合模式谐振腔的光栅；其中所述光栅用于实现激光器谐振腔中相同波长的激光以两种以上的模式共同发射；所述光栅包含相移结构；通过后续工艺，制备激光器；所述后续工艺包括刻蚀工艺和沉积金属工艺。本发明解决了现有技术中的模分复用光子集成芯片的光源光耦合损耗大的问题。 |
| 公开日期 | 2016-05-04 |
| 申请日期 | 2016-02-05 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92087]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南京大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 施跃春,肖如磊,陈向飞,等. 一种基于准二维光栅的混合模式激光器、阵列及制作方法. CN105552717A. 2016-05-04. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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