一种激光器芯片的制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 尚飞; 方瑞禹 |
| 发表日期 | 2018-04-03 |
| 专利号 | CN107872007A |
| 著作权人 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种激光器芯片的制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明提供了一种激光器芯片的制作方法。制作方法包括：生长脊波导层、牺牲层；刻蚀牺牲层，形成凸起结构，凸起结构定义出双脊间距；沉积掩膜层；刻蚀掩膜层，使牺牲层的顶端端面露出，保留牺牲层两侧的掩膜层侧墙；使用湿法刻蚀去除凸起结构；定义出双沟槽位置及宽度；刻蚀脊波导层；刻蚀去除掩膜层侧墙，形成双脊双沟槽结构；沉积电极层。在对上述激光器芯片的制作方法制作得到的激光器芯片测试时，能够分别测试两个激光器。在第一次挑选不合格芯片中进行第二次挑选，减少了芯片的报废，提高了芯片成品率，降低了芯片制造成本。 |
| 公开日期 | 2018-04-03 |
| 申请日期 | 2016-09-27 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92185]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 尚飞,方瑞禹. 一种激光器芯片的制作方法. CN107872007A. 2018-04-03. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。