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一种基于金属腔的表面等离激元激光器

文献类型:专利

作者温秋玲; 张家森; 徐西鹏
发表日期2018-04-24
专利号CN107959224A
著作权人华侨大学
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种基于金属腔的表面等离激元激光器
英文摘要本发明公开了一种基于金属腔的表面等离激元激光器,包括表面等离激元波导和金属腔。本发明的金属腔是利用刻蚀技术嵌入在表面等离激元波导中作为激光器的谐振腔,因此金属腔的形状和尺寸可精确控制。由于金属腔的腔镜对腔中表面等离激元模式的反射率超过90%,使得金属腔中表面等离激元激光的Q值高达1170。本发明的表面等离激元激光器采用金属腔作为激光器的谐振腔,具有物理尺寸小、品质因数大、形状和尺寸可精确控制、制备工艺简单成熟、室温工作,可与电子芯片兼容等优点。
公开日期2018-04-24
申请日期2018-01-04
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92193]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位华侨大学
推荐引用方式
GB/T 7714
温秋玲,张家森,徐西鹏. 一种基于金属腔的表面等离激元激光器. CN107959224A. 2018-04-24.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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