一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法
文献类型:专利
作者 | 张宇光; 胡晓; 肖希; 冯朋; 陈代高; 王磊; 李淼峰; 余少华 |
发表日期 | 2018-06-05 |
专利号 | CN108123365A |
著作权人 | 武汉邮电科学研究院 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法 |
英文摘要 | 本发明公开了一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法,涉及光电子器件技术领域。该激光器包括:增益介质、模斑转换器、对准标记、无温漂的混合集成光波导和无温漂的光学谐振腔;该增益介质通过模斑转换器与无温漂的混合集成光波导相连。其中,无温漂的混合集成光波导包括形成于低折射率衬底上的高折射率材料层和负热光系数材料层,该负热光系数材料层能够对高折射率材料层的正热光系数进行补偿;无温漂的光学谐振腔是基于无温漂的混合集成光波导组成的谐振腔结构,用于实现激光器的输出波长在不同温度下的稳定。本发明能解决硅基片上集成激光器的出射波长随温度变化的问题,且无需增设额外调控器件,使得激光器的功耗低、集成度高、制备成本低。 |
公开日期 | 2018-06-05 |
申请日期 | 2017-12-25 |
状态 | 申请中 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92213] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 武汉邮电科学研究院 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张宇光,胡晓,肖希,等. 一种无温漂的片上集成激光器及其制备方法. CN108123365A. 2018-06-05. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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