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一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置及其制作方法

文献类型:专利

作者王岩; 罗帅; 其他发明人请求不公开姓名
发表日期2018-09-11
专利号CN108521073A
著作权人江苏华兴激光科技有限公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置及其制作方法
英文摘要本发明涉及光电子器件设计技术领域,尤其涉及一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置及其制作方法,其不同之处在于:所述装置包括基底,用于承载功能器件及电流注入,所述基底包括由下至上依次设置的下金属层、衬底材料层、绝缘层、上金属层;直波导互连腔,用于形成激光振荡,所述直波导互连腔设于衬底材料层上,其包括四个直角互连的长条形直波导腔体分段,相邻两个直波导腔体分段接合处外侧面设有全反射镜面,其中一个直波导腔体分段上排布有周期微结构;输出波导段,所述输出波导段设于衬底材料层上且其一端连接于其中一个直波导腔体分段的端部。本发明可实现低损耗环路振荡,且功率可调。
公开日期2018-09-11
申请日期2018-06-07
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92238]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位江苏华兴激光科技有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
王岩,罗帅,其他发明人请求不公开姓名. 一种基于直波导全反射耦合连接的微结构片上光源装置及其制作方法. CN108521073A. 2018-09-11.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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