一种微盘拉曼激光器及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 姜校顺; 李昊; 程欣宇; 顾佳新; 肖敏 |
| 发表日期 | 2018-11-30 |
| 专利号 | CN108923245A |
| 著作权人 | 南京大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种微盘拉曼激光器及其制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明实施例公开了一种微盘拉曼激光器及其制作方法。其中，微盘拉曼激光器包括：在基板上涂布光刻胶；其中，所述基板包括半导体基底，所述半导体基底上形成有氧化物半导体层；将设置有圆形镂空图案的掩模版作为掩膜，对所述光刻胶进行光刻和显影，获取光刻胶圆盘；以所述光刻胶圆盘作为掩膜，对所述氧化物半导体层进行等离子体刻蚀，获取氧化物半导体微盘；对所述氧化物半导体微盘上的所述光刻胶圆盘进行清洗；以所述氧化物半导体微盘作为掩模，刻蚀所述半导体基底，形成支撑所述氧化物半导体微盘的支撑柱。本发明实施例提供的技术方案，可解决现有微腔拉曼激光器刻蚀精度不高，重复性差的问题。 |
| 公开日期 | 2018-11-30 |
| 申请日期 | 2018-07-27 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92282]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南京大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜校顺,李昊,程欣宇,等. 一种微盘拉曼激光器及其制作方法. CN108923245A. 2018-11-30. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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