集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 王永进; 高绪敏; 施政; 袁佳磊; 秦川; 蔡玮 |
| 发表日期 | 2019-03-12 |
| 专利号 | CN109462145A |
| 著作权人 | 南京邮电大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明提供一种集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法，该激光器包括硅衬底层、设置在所述硅衬底层上的外延缓冲层、设置在所述外延缓冲层上的p‑n结量子阱器件与光波导，所述光波导一端与p‑n结量子阱器件相连，另一端集成有谐振光栅微腔结构。本发明实现的电泵浦硅衬底GaN基悬空波导激光器，可以通过调控微腔结构，实现波长可调的GaN基悬空波导激光器。本发明提出的集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器可用于可见光通信、显示及传感领域。 |
| 公开日期 | 2019-03-12 |
| 申请日期 | 2018-12-07 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92350]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南京邮电大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王永进,高绪敏,施政,等. 集成谐振光栅微腔的GaN基悬空波导激光器及制备方法. CN109462145A. 2019-03-12. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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