一种扫频光源及其制作方法
文献类型：专利
| 作者 | 付红岩; 谢启浩; 陈震旻 |
| 发表日期 | 2019-04-16 |
| 专利号 | CN109638644A |
| 著作权人 | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种扫频光源及其制作方法 |
| 英文摘要 | 本发明实施例提供一种扫频光源及其制作方法，扫频光源包括：依次叠层设置的第一电极、第一衬底、第一分布式布拉格反射镜、有源层和第二电极，所述第二电极位于所述非透光区域；框架，位于所述第二电极远离所述第一衬底一侧，且位于所述第二电极远离所述透光区域一侧，所述框架围绕所述第二电极一周；悬臂梁结构，固定于所述框架上，所述悬臂梁结构包括同层设置且相互连接的支撑膜和至少两个悬臂梁，所述支撑膜位于所述透光区域，所述悬臂梁位于所述非透光区域；第二分布式布拉格反射镜，固定于所述支撑膜上；压电结构，固定于所述悬臂梁上。本发明实施例提供一种扫频光源及其制作方法，以实现提供一种新型的扫频光源。 |
| 公开日期 | 2019-04-16 |
| 申请日期 | 2019-01-25 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92375]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 清华-伯克利深圳学院筹备办公室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 付红岩,谢启浩,陈震旻. 一种扫频光源及其制作方法. CN109638644A. 2019-04-16. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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