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边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法

文献类型:专利

作者董海亮; 许并社; 贾志刚; 张爱琴; 屈凯; 李天保; 梁建
发表日期2019-05-24
专利号CN109802296A
著作权人太原理工大学
国家中国
文献子类发明申请
其他题名边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法
英文摘要本发明边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法,属于半导体材料技术领域;提供了一种提高了激光光斑的功率密度、减少了光束发散角的边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法;技术方案为:边发射激光器光束整形结构为梯形台,梯形台凹陷在边发射激光器芯片内部的N型掺杂的波导层、有源层和P型掺杂的波导层中,梯形台的上底面位于边发射激光器芯片的前输出腔面上,梯形台围成的表面上依次镀有Si钝化膜和增透膜。
公开日期2019-05-24
申请日期2019-03-01
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92393]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位太原理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
董海亮,许并社,贾志刚,等. 边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法. CN109802296A. 2019-05-24.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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