边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法
文献类型:专利
作者 | 董海亮; 许并社; 贾志刚; 张爱琴; 屈凯; 李天保; 梁建 |
发表日期 | 2019-05-24 |
专利号 | CN109802296A |
著作权人 | 太原理工大学 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法 |
英文摘要 | 本发明边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法,属于半导体材料技术领域;提供了一种提高了激光光斑的功率密度、减少了光束发散角的边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法;技术方案为:边发射激光器光束整形结构为梯形台,梯形台凹陷在边发射激光器芯片内部的N型掺杂的波导层、有源层和P型掺杂的波导层中,梯形台的上底面位于边发射激光器芯片的前输出腔面上,梯形台围成的表面上依次镀有Si钝化膜和增透膜。 |
公开日期 | 2019-05-24 |
申请日期 | 2019-03-01 |
状态 | 申请中 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92393] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 太原理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 董海亮,许并社,贾志刚,等. 边发射激光器光束整形结构、激光器芯片及其制备方法. CN109802296A. 2019-05-24. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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