一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 朱刚毅; 李佳平; 王永进 |
| 发表日期 | 2019-06-14 |
| 专利号 | CN109888611A |
| 著作权人 | 南京邮电大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明公开了一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层内部镂空，仅保留侧壁和底面，形成一个位于u型氮化镓层下方的空腔。本发明在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和ICP刻蚀工艺制备纳米梁结构的氮化物微腔，在正向偏压下，获得紫外光波段的激光。 |
| 公开日期 | 2019-06-14 |
| 申请日期 | 2019-03-18 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92413]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 南京邮电大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱刚毅,李佳平,王永进. 一种电驱动纳米梁结构的氮化物微激光器及其制备方法. CN109888611A. 2019-06-14. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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