氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法
文献类型：专利
| 作者 | 张跃进; 黄德昌; 李波; 展爱云; 胡勇 |
| 发表日期 | 2019-06-28 |
| 专利号 | CN109950792A |
| 著作权人 | 钟祥博谦信息科技有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法，包括：对蓝宝石进行预处理，获得具有缓冲层的蓝宝石；基于金属有机物化学气相沉积技术在缓冲层上生长预设数量的堆叠结构，获得氮化镓外延片；基于等离子刻蚀法对所述氮化镓外延片进行刻蚀，得到具有腐蚀窗口的氮化镓外延片；对具有腐蚀窗口的氮化镓外延片进行电化学腐蚀，得到氮化镓的分布式布拉格反射镜。 |
| 公开日期 | 2019-06-28 |
| 申请日期 | 2019-03-29 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92422]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 钟祥博谦信息科技有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张跃进,黄德昌,李波,等. 氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法. CN109950792A. 2019-06-28. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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