一种分布反馈激光器阵列及其制造方法
文献类型：专利
| 作者 | 薛正群; 黄长统; 苏辉; 刘阳 ; 吴林福生; 杨重英
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| 发表日期 | 2019-07-26 |
| 专利号 | CN110061424A |
| 著作权人 | 深圳市特发信息股份有限公司 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种分布反馈激光器阵列及其制造方法 |
| 英文摘要 | 本发明实施例涉及一种分布反馈激光器阵列及其制造方法，所述阵列包括衬底及在衬底上依次生长的缓冲层、光栅层、选择生长区域外延层，在所述光栅层的不同区域具有周期不同的均匀光栅，选择生长区域的位置与不同周期的光栅的位置相对应；所述选择生长区域外延层自下而上依次包括间隔层、下波导层、多量子阱、上波导层和覆盖层；在选择生长区域以外的区域生长有电流阻挡层；在选择生长区域的覆盖层和电流阻挡层上依次生长有空间层和欧姆接触层。该激光器阵列实现了单片上多波长输出的激光器阵列。 |
| 公开日期 | 2019-07-26 |
| 申请日期 | 2018-12-07 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92433]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 深圳市特发信息股份有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛正群,黄长统,苏辉,等. 一种分布反馈激光器阵列及其制造方法. CN110061424A. 2019-07-26. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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