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一种基于高阶横模波导输出的混合集成激光器芯片结构

文献类型:专利

作者郑婉华; 陈忠浩; 渠红伟; 贾宇飞; 林海鹏
发表日期2019-08-27
专利号CN110176718A
著作权人中国科学院半导体研究所
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种基于高阶横模波导输出的混合集成激光器芯片结构
英文摘要本发明公开了一种基于高阶横模波导输出的混合集成激光器芯片结构,包括激光器和SOI波导,所述激光器包括:P型波导层,用于限制基膜激射、产生高阶横模激射以及使光场向P型区扩展;有源区,设置于P型波导层之上,用于增益发光;N型限制层,设置于有源区之上,用于限制光场向N型区的扩展;N型衬底层及N面电极,设置于N型限制层之上,用于生长外延材料及载流子的注入;所述SOI波导,设置于所述激光器之下,与激光器通过键合技术或BCB胶合成一整体,形成复合激光腔。
公开日期2019-08-27
申请日期2019-06-19
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92455]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位中国科学院半导体研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
郑婉华,陈忠浩,渠红伟,等. 一种基于高阶横模波导输出的混合集成激光器芯片结构. CN110176718A. 2019-08-27.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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