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一种宽温度范围的DFB激光器及其制备方法

文献类型:专利

作者单智发; 张永; 姜伟; 陈阳华
发表日期2019-09-17
专利号CN110247301A
著作权人全磊光电股份有限公司
国家中国
文献子类发明申请
其他题名一种宽温度范围的DFB激光器及其制备方法
英文摘要本发明提供一种宽温度范围的DFB激光器,该DFB激光器的外延层结构包括非InP基板,所述非InP基板上依次层叠设置有N型连接层、光栅掩埋层、N型光栅层、N型限制层、下波导层、量子阱、上波导层、P型上限制层、P型腐蚀阻挡层、P型连接层、第一P型势垒渐变层、第二P型势垒渐变层和P型欧姆接触层。该激光器所采用的光栅为N型半导体材料,使得N光栅的DFB激光器具有更低的激射阈值和更小的寄生电阻,可在更宽的温度范围内工作;采用采用倒装式外延生长方式,先生长P型层,再生长N型光栅制作层,量子阱层在制备光栅层之前的处延过程中生长,材料界面平整,材料质量好,缺陷密度小。
公开日期2019-09-17
申请日期2019-07-17
状态申请中
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92464]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位全磊光电股份有限公司
推荐引用方式
GB/T 7714
单智发,张永,姜伟,等. 一种宽温度范围的DFB激光器及其制备方法. CN110247301A. 2019-09-17.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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