一种基于表面光栅的面发射激光器
文献类型：专利
| 作者 | 国伟华; 刘灿; 张鹏斐; 陆巧银 |
| 发表日期 | 2019-09-17 |
| 专利号 | CN110247302A |
| 著作权人 | 华中科技大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种基于表面光栅的面发射激光器 |
| 英文摘要 | 一种基于表面光栅的面发射激光器。该激光器为脊形波导结构，自下而上包含：衬底、下波导盖层、有源层、上波导盖层；在脊形波导表面上刻蚀有布拉格光栅；脊形波导上面不做电极，电极位于脊形波导两侧；在脊形波导与两侧电极之间刻蚀有沟槽；该激光器的下波导盖层中含有一个或多个电流限制区，或者是在上波导盖层中制作一个掩埋隧道结来限制电流。激光器的表面光栅包含两端的一阶光栅和中心区域的二阶光栅。一阶光栅主要起反馈的作用，二阶光栅的作用包括两个方面：一是提供垂直方向的输出，形成面发射；二是产生合适的相移，这样使得布拉格波长能够成为激光器的激射波长。本发明不需要材料的二次外延生长，制作工艺简便，降低了器件的制作成本。 |
| 公开日期 | 2019-09-17 |
| 申请日期 | 2019-07-09 |
| 状态 | 申请中 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92465]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 华中科技大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 国伟华,刘灿,张鹏斐,等. 一种基于表面光栅的面发射激光器. CN110247302A. 2019-09-17. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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