表面発光型半導体アレイ素子、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置、および光空間伝送システム
文献类型：专利
| 作者 | 植木 伸明; 宮本 育昌; 櫻井 淳; 井上 晃孝 |
| 发表日期 | 2008-04-10 |
| 专利号 | JP2008085161A |
| 著作权人 | 富士ゼロックス株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 表面発光型半導体アレイ素子、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置、および光空間伝送システム |
| 英文摘要 | (修正有) 【課題】 段差部における金属電極の密着性を向上させ、信頼性の高い小型のVCSELアレイ素子を提供する。 【解決手段】 本発明に係るVCSELアレイは、基板のほぼ中央に複数の発光部となるメサ102と、分離溝102を介してメサ102から分離された電極パッド部106とを備える。分離溝104の側壁は、波型形状をしており、従来のような直線形状の側壁と比べ、分離溝104の段差部における層間絶縁膜や電極配線110の接触面積が増え、段差部を起点とする層間絶縁膜や電極配線の剥がれが生じ難くなり、VCSELの歩留りの改善と共に素子の信頼性が向上する。 【選択図】図1 |
| 公开日期 | 2008-04-10 |
| 申请日期 | 2006-09-28 |
| 状态 | 授权 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92507]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 富士ゼロックス株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 植木 伸明,宮本 育昌,櫻井 淳,等. 表面発光型半導体アレイ素子、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置、および光空間伝送システム. JP2008085161A. 2008-04-10. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。