一种刻蚀散热增强型垂直腔面发射激光器
文献类型：专利
| 作者 | 晏长岭; 邓昀; 徐莉; 冯源; 郝永芹; 田春雨; 贾霄; 赵英杰; 李鹏 |
| 发表日期 | 2012-09-26 |
| 专利号 | CN102694341A |
| 著作权人 | 长春理工大学 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 一种刻蚀散热增强型垂直腔面发射激光器 |
| 英文摘要 | 本发明的一种刻蚀散热增强型垂直腔面发射激光器，在衬底的中央采用湿法腐蚀或干法刻蚀方法去掉相应的衬底形成衬底沟槽，形成的衬底沟槽由高导热焊料填充，减少衬底对有源区产生的热向热沉扩散的阻隔，使有源增益区与散热片或热沉实现近距离接触，实现对有源增益区产生的热量进行很好的散热作用，实现增强散热效果；与此同时还可以减少部分衬底对激光器串联电阻的贡献。与传统的垂直腔面发射激光器衬底与散热片或热沉直接焊接相比，这种结构设计的激光器增强散热能力在30％以上，提高激光器件的光输出功率在20％以上，提高器件电光转换效率在20％以上，克服了现有结构的不足。 |
| 公开日期 | 2012-09-26 |
| 申请日期 | 2011-03-25 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92885]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 长春理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 晏长岭,邓昀,徐莉,等. 一种刻蚀散热增强型垂直腔面发射激光器. CN102694341A. 2012-09-26. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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