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氮化物类半导体激光元件及其制造方法

文献类型:专利

作者西川学; 太田洁; 市桥由成
发表日期2010-05-26
专利号CN101714743A
著作权人三洋电机株式会社
国家中国
文献子类发明申请
其他题名氮化物类半导体激光元件及其制造方法
英文摘要本发明提供一种氮化物类半导体激光元件及其制造方法。该氮化物类半导体激光元件,具备:氮化物类半导体层,其形成于由氮化物类半导体构成的活性层上;和俯视时具有元件所需要的形状的电极层,该电极层包括:形成于氮化物类半导体层的与活性层相反侧的表面上且由Pt构成的第一金属层、形成于第一金属层的表面上且由Pd构成的第二金属层、和形成于第二金属层的表面上且由Pt构成的第三金属层。而且,第三金属层的厚度为第一金属层的厚度的10倍以上30倍以下。
公开日期2010-05-26
申请日期2009-09-29
状态失效
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92921]  
专题半导体激光器专利数据库
作者单位三洋电机株式会社
推荐引用方式
GB/T 7714
西川学,太田洁,市桥由成. 氮化物类半导体激光元件及其制造方法. CN101714743A. 2010-05-26.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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