氮化物类半导体激光元件及其制造方法
文献类型:专利
作者 | 西川学; 太田洁; 市桥由成 |
发表日期 | 2010-05-26 |
专利号 | CN101714743A |
著作权人 | 三洋电机株式会社 |
国家 | 中国 |
文献子类 | 发明申请 |
其他题名 | 氮化物类半导体激光元件及其制造方法 |
英文摘要 | 本发明提供一种氮化物类半导体激光元件及其制造方法。该氮化物类半导体激光元件,具备:氮化物类半导体层,其形成于由氮化物类半导体构成的活性层上;和俯视时具有元件所需要的形状的电极层,该电极层包括:形成于氮化物类半导体层的与活性层相反侧的表面上且由Pt构成的第一金属层、形成于第一金属层的表面上且由Pd构成的第二金属层、和形成于第二金属层的表面上且由Pt构成的第三金属层。而且,第三金属层的厚度为第一金属层的厚度的10倍以上30倍以下。 |
公开日期 | 2010-05-26 |
申请日期 | 2009-09-29 |
状态 | 失效 |
源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/92921] ![]() |
专题 | 半导体激光器专利数据库 |
作者单位 | 三洋电机株式会社 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 西川学,太田洁,市桥由成. 氮化物类半导体激光元件及其制造方法. CN101714743A. 2010-05-26. |
入库方式: OAI收割
来源:西安光学精密机械研究所
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