表面電位センサユニット、表面電位センサ、および表面電位センサアレイ
文献类型：专利
| 作者 | ローシャン タプリヤ; 中村 滋年; 菊地 崇 |
| 发表日期 | 2009-10-01 |
| 专利号 | JP2009222521A |
| 著作权人 | 富士ゼロックス株式会社 |
| 国家 | 日本 |
| 文献子类 | 发明申请 |
| 其他题名 | 表面電位センサユニット、表面電位センサ、および表面電位センサアレイ |
| 英文摘要 | 【課題】本発明は、よりコンパクトで高感度、高分解能の表面電位センサが得られる表面電位センサユニットの提供。 【解決手段】電気光学的効果を有し、光を単一モードで伝搬する2次元導波路である単一モード導波路2と、単一モード導波路2を両面から挟むように設けられた検知電極1および接地電極3と、単一モード導波路2の一端から偏光を導入する偏光子4およびVCSEL5と、単一モード導波路2の他端から出射される偏光の強度を測定する検光子6および光ダイオード7と、を備え、検知電極1には、表面電位を測定しようとする被測定物に相対し、または接触するプローブ20が電気的に接続される表面電位センサユニット。 【選択図】図3 |
| 公开日期 | 2009-10-01 |
| 申请日期 | 2008-03-14 |
| 状态 | 失效 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93167]  |
| 专题 | 半导体激光器专利数据库 |
| 作者单位 | 富士ゼロックス株式会社 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | ローシャン タプリヤ,中村 滋年,菊地 崇. 表面電位センサユニット、表面電位センサ、および表面電位センサアレイ. JP2009222521A. 2009-10-01. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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