3D-encapsulated VHF MEMS resonator with high frequency stability and low vibration sensitivity
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zeji Chen ; Fengxiang Wang ; Quan Yuan ; Xiao Kan ; Jinling Yang ; Jicong Zhao ; Fuhua Yang |
| 刊名 | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
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| 出版日期 | 2019 |
| 卷号 | 286页码:123-132 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29606]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zeji Chen ; Fengxiang Wang ; Quan Yuan ; Xiao Kan ; Jinling Yang ; Jicong Zhao ; Fuhua Yang. 3D-encapsulated VHF MEMS resonator with high frequency stability and low vibration sensitivity[J]. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,2019,286:123-132. |
| APA | Zeji Chen ; Fengxiang Wang ; Quan Yuan ; Xiao Kan ; Jinling Yang ; Jicong Zhao ; Fuhua Yang.(2019).3D-encapsulated VHF MEMS resonator with high frequency stability and low vibration sensitivity.SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,286,123-132. |
| MLA | Zeji Chen ; Fengxiang Wang ; Quan Yuan ; Xiao Kan ; Jinling Yang ; Jicong Zhao ; Fuhua Yang."3D-encapsulated VHF MEMS resonator with high frequency stability and low vibration sensitivity".SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 286(2019):123-132. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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