A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope
文献类型：期刊论文
| 作者 | Jian Yang; Chaowei Si; Guowei Han ; Meng Zhang ; Jin Ning; Yongmei Zhao ; Fuhua Yang; Xiaodong Wang |
| 刊名 | MICROMACHINES
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| 出版日期 | 2019 |
| 卷号 | 10页码:244 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29843]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Jian Yang; Chaowei Si; Guowei Han ; Meng Zhang ; Jin Ning; Yongmei Zhao ; Fuhua Yang; Xiaodong Wang. A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope[J]. MICROMACHINES,2019,10:244. |
| APA | Jian Yang; Chaowei Si; Guowei Han ; Meng Zhang ; Jin Ning; Yongmei Zhao ; Fuhua Yang; Xiaodong Wang.(2019).A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope.MICROMACHINES,10,244. |
| MLA | Jian Yang; Chaowei Si; Guowei Han ; Meng Zhang ; Jin Ning; Yongmei Zhao ; Fuhua Yang; Xiaodong Wang."A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope".MICROMACHINES 10(2019):244. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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