A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer
文献类型：期刊论文
| 作者 | Jian Yang; Meng Zhang; Yurong He; Yan Su ; Guowei Han ; Chaowei Si ; Jin Ning; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang |
| 刊名 | Micromachines
 |
| 出版日期 | 2019 |
| 卷号 | 10期号:9页码:589 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29844]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Jian Yang; Meng Zhang; Yurong He; Yan Su ; Guowei Han ; Chaowei Si ; Jin Ning; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang. A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer[J]. Micromachines,2019,10(9):589. |
| APA | Jian Yang; Meng Zhang; Yurong He; Yan Su ; Guowei Han ; Chaowei Si ; Jin Ning; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang.(2019).A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer.Micromachines,10(9),589. |
| MLA | Jian Yang; Meng Zhang; Yurong He; Yan Su ; Guowei Han ; Chaowei Si ; Jin Ning; Fuhua Yang ; Xiaodong Wang."A Resonant Z-Axis Aluminum Nitride Thin-Film Piezoelectric MEMS Accelerometer".Micromachines 10.9(2019):589. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。