新型高Q值硅基RF-MEMS谐振器
文献类型：学位论文
| Author | 王天昀 |
| Issued Date | 2020-07 |
| Subtype | 博士 |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Degree Grantor | 中国科学院半导体研究所 |
| Language | 中文 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29908]  |
| Collection | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王天昀. 新型高Q值硅基RF-MEMS谐振器[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2020. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
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