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三五族化合物半导体材料的分子束外延技术研究

文献类型:学位论文

作者苏大鸿
答辩日期2020-07
文献子类博士
授予单位中国科学院大学
授予地点中国科学院半导体研究所
语种中文
公开日期2020-08
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29949]  
专题半导体研究所_纳米光电子实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
苏大鸿. 三五族化合物半导体材料的分子束外延技术研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2020.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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