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氮化物半导体材料与器件微观应力机理与调控研究

文献类型:学位论文

Author姚威振
Issued Date2020-08
Subtype博士后
Degree Grantor中国科学院大学
Place of Degree Grantor中国科学院半导体研究所
Language中文
Available Date2020-08
源URL[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/29954]  
Collection半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
姚威振. 氮化物半导体材料与器件微观应力机理与调控研究[D]. 中国科学院半导体研究所. 中国科学院大学. 2020.

入库方式: OAI收割

来源:半导体研究所

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