开口隔离层上多晶硅薄膜制备
文献类型：期刊论文
| 作者 | 梁宗存 ; 柳锡运 ; 沈辉 |
| 刊名 | 太阳能学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 卷号 | 27期号:4页码:369-372 |
| 合作状况 | 其它 |
| 收录类别 | EI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-12-09 |
| 源URL | [http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/382]  |
| 专题 | 中国科学院广州能源研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁宗存,柳锡运,沈辉. 开口隔离层上多晶硅薄膜制备[J]. 太阳能学报,2006,27(4):369-372. |
| APA | 梁宗存,柳锡运,&沈辉.(2006).开口隔离层上多晶硅薄膜制备.太阳能学报,27(4),369-372. |
| MLA | 梁宗存,et al."开口隔离层上多晶硅薄膜制备".太阳能学报 27.4(2006):369-372. |
入库方式： OAI收割
来源：广州能源研究所
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