中国科学院机构知识库网格系统: 一种内置天线射频离子源

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一种内置天线射频离子源

文献类型：专利


作者	蒋才超; 李军; 胡纯东; 谢亚红; 吴斌; 赵鹏; 刘胜; 韦江龙; 顾玉明; 刘玲
专利号	CN206075824U
著作权人	中国科学院合肥物质科学研究院
国家	中国
文献子类	发明专利
语种	中文
源URL	[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/43271]
专题	合肥物质科学研究院_中科院等离子体物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	蒋才超,李军,胡纯东,等. 一种内置天线射频离子源. CN206075824U.

入库方式： OAI收割

来源：合肥物质科学研究院

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