915 MHz TE10－TE01 模式转换器设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 董健1,2; 刘甫坤2 ; 赵连敏2; 闫新胜1,2; 徐伟业2; 汤允迎2
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| 刊名 | 核电子学与探测技术
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| 出版日期 | 2017-01 |
| 关键词 | 模式转换器 TE10模式 TE01模式 功分器 |
| ISSN号 | ISSN:0258-0934 |
| DOI | 10.3969/j.issn.0258-0934.2017.01.009 |
| 英文摘要 | 本文设计了一种可实现矩形波导 TE10 模式转换为圆波导 TE01 模式的转换器，用于电子回 旋共振( ECＲ) 技术薄膜沉积，使微波功率以特定模式分布在反应腔中与磁场共同作用产生等离子体，并 由磁控管输出的微波中心频率为915 MHz。在满足工作带宽要求的基础上尽量提高转换效率，抑制噪 声模式。通过三维仿真软件 HFSS 对结构进行优化，在 915 MHz 中心频率处转换效率达到99.90%，在 中心频率20MHz 范围内转换效率达到99.00%，能够满足磁控管工作频率在915 MHz 下的带宽要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/43544]  |
| 专题 | 合肥物质科学研究院_中科院等离子体物理研究所 |
| 作者单位 | 1.中国科学技术大学科学岛分院 2.中国科学院等离子体物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董健,刘甫坤,赵连敏,等. 915 MHz TE10－TE01 模式转换器设计[J]. 核电子学与探测技术,2017. |
| APA | 董健,刘甫坤,赵连敏,闫新胜,徐伟业,&汤允迎.(2017).915 MHz TE10－TE01 模式转换器设计.核电子学与探测技术. |
| MLA | 董健,et al."915 MHz TE10－TE01 模式转换器设计".核电子学与探测技术 (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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