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超快贝塞尔脉冲激光加工透明材料的微纳结构制造

文献类型：学位论文


作者	陈天衢
答辩日期	2020-08-24
文献子类	硕士
授予单位	中国科学院大学
授予地点	北京
导师	程光华
关键词	超快脉冲激光贝塞尔光束非线性吸收激光加工熔融石英铝硅酸盐玻璃蓝宝石高深径比微纳通道
学科主题	光学
语种	中文
页码	100
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93657]
专题	西安光学精密机械研究所_研究生部
推荐引用方式 GB/T 7714	陈天衢. 超快贝塞尔脉冲激光加工透明材料的微纳结构制造[D]. 北京. 中国科学院大学. 2020.

入库方式： OAI收割

来源：西安光学精密机械研究所

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