基于原子层沉积技术微通道板功能层调控机制的研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 郭俊江 |
| 答辩日期 | 2020-08-20 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 西安交通大学（光机所联合培养） |
| 授予地点 | 西安 |
| 导师 | 彭波 |
| 关键词 | 原子层沉积 微通道板 导电层 二次电子发射层 增益 |
| 学科主题 | 微电子学 |
| 语种 | 中文 |
| 页码 | 132 |
| 源URL | [http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93664]  |
| 专题 | 西安光学精密机械研究所_研究生部 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭俊江. 基于原子层沉积技术微通道板功能层调控机制的研究[D]. 西安. 西安交通大学（光机所联合培养）. 2020. |
入库方式： OAI收割
来源：西安光学精密机械研究所
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