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光束指向及焦深对飞秒激光微圆孔加工的影响研究

文献类型:学位论文

作者宋昶
答辩日期2020-08-24
文献子类硕士
授予单位中国科学院大学
授予地点北京
导师杨小君
关键词飞秒激光 微孔加工 长焦深光束 光束指向稳定性 焦点控制
学科主题光学
语种中文
页码71
源URL[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/93667]  
专题西安光学精密机械研究所_研究生部
推荐引用方式
GB/T 7714
宋昶. 光束指向及焦深对飞秒激光微圆孔加工的影响研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2020.

入库方式: OAI收割

来源:西安光学精密机械研究所

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