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高重复率小型准分子激光开关电源设计

文献类型:期刊论文

作者游利兵2; 梁勖2; 黄德文2; 余吟山2
刊名激光杂志
出版日期2009
卷号000
关键词准分子激光 开关电源 串联谐振 高重复率 高压
ISSN号0253-2743
其他题名Design of a switching power supply for high repetition excimer laser
英文摘要设计了一种用于高重复率准分子激光器的正弦恒流型高压开关电源,逆变主电路采用串联谐振回路,输出电压10kV至15kV,重复率1Hz至300tk。分析了逆变回路工作情况,介绍了变压器的参数计算方法和所采取的抗电磁干扰措施。电源体积小巧,运行稳定。经改进可使重复率提高到600Hz。
语种中文
CSCD记录号CSCD:3666845
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/46149]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位1.中国科学院安徽光学精密机械研究所
2.中国科学院安徽光学精密机械研究所
3.中国科学院安徽光学精密机械研究所
4.中国科学院安徽光学精密机械研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
游利兵,梁勖,黄德文,等. 高重复率小型准分子激光开关电源设计[J]. 激光杂志,2009,000.
APA 游利兵,梁勖,黄德文,&余吟山.(2009).高重复率小型准分子激光开关电源设计.激光杂志,000.
MLA 游利兵,et al."高重复率小型准分子激光开关电源设计".激光杂志 000(2009).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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