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基于AFM探针的电晕放电研究

文献类型:期刊论文

作者赵贵4; 孔德义4; Juergen Brugger4; 陈池来4; 程玉鹏4; 李庄4
刊名传感器与微系统
出版日期2011
卷号030
关键词原子力显微镜探针 电晕放电 微机电系统 ANSYS 非接触式采样
ISSN号1000-9787
其他题名Research on corona discharge based on AFM probe
英文摘要针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1kV高压时的AFM探针周围场强在0.32—62.4V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。
语种中文
CSCD记录号CSCD:4368281
源URL[http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/46517]  
专题中国科学院合肥物质科学研究院
作者单位1.中国科学院合肥智能机械研究所
2.中国科学院合肥智能机械研究所
3.中国科学院合肥智能机械研究所
4.中国科学院合肥智能机械研究所
5.中国科学院合肥智能机械研究所
6.瑞士洛桑联邦理工学院
推荐引用方式
GB/T 7714
赵贵,孔德义,Juergen Brugger,等. 基于AFM探针的电晕放电研究[J]. 传感器与微系统,2011,030.
APA 赵贵,孔德义,Juergen Brugger,陈池来,程玉鹏,&李庄.(2011).基于AFM探针的电晕放电研究.传感器与微系统,030.
MLA 赵贵,et al."基于AFM探针的电晕放电研究".传感器与微系统 030(2011).

入库方式: OAI收割

来源:合肥物质科学研究院

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