金刚石薄膜生长速度研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王传新3; 汪建华3; 满卫东3; 马志斌3; 王升高3; 傅朝坤4; 李克林4; 康志成5 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 011 |
| 关键词 | 金刚石薄膜 生长速度 镀铜 硬质合金 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 其他题名 | Growth of CVD diamond thin films with high growth rate |
| 英文摘要 | 在电子辅助热丝CVD中，研究刀具预处理对金刚石薄膜生长速度的影响。在保持生长条件不变的前提下，经酸腐蚀处理的刀具的侧、背面镀铜能使金刚石薄膜的生长速度从没有镀铜时的4μm／h增加到镀铜后的10．6μm／h。镀铜处理提高了刀具的电导率，使得热丝发射的电子在偏压电场的作用下，在刀具表面附近聚集，加速氢气和丙酮的裂解，从而提高金刚石薄膜生长速度。SEM和Raman测试结果表明，高速生长的金刚石薄膜仍然具有很高质量。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2138779 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/46569]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.自贡硬质合金有限公司 2.中国科学院等离子体物理研究所 3.武汉化工学院 4.武汉化工学院 5.武汉化工学院 6.武汉化工学院 7.武汉化工学院 8.自贡硬质合金有限公司 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王传新,汪建华,满卫东,等. 金刚石薄膜生长速度研究[J]. 功能材料与器件学报,2005,011. |
| APA | 王传新.,汪建华.,满卫东.,马志斌.,王升高.,...&康志成.(2005).金刚石薄膜生长速度研究.功能材料与器件学报,011. |
| MLA | 王传新,et al."金刚石薄膜生长速度研究".功能材料与器件学报 011(2005). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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