衬底对脉冲激光沉积类金刚石薄膜微观结构的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 罗乐4; 蒋大鹏4; 孙伟4; 严中亚5; 程光存5; 方晓东6
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| 刊名 | 应用激光
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| 出版日期 | 2014 |
| 卷号 | 34 |
| 关键词 | 脉冲激光沉积法 类金刚石薄膜 衬底材料 衬底温度 微观结构 |
| ISSN号 | 1000-372X |
| 其他题名 | Influence of Substrate on Microstructure of Diamond-Like Carbon Films Deposited by Pulsed Laser |
| 英文摘要 | 用脉冲激光沉积法制备类金刚石薄膜的实验。首先,衬底温度分别取室温、200 ℃ 、400 ℃和600 ℃在Si衬底上沉积类金刚石薄膜;其次,衬底温度分别取400 ℃和600 ℃在316L医用不锈钢衬底上沉积类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对各种参数的薄膜样品进行检测。结果表明:在其它实验参数不变的条件下,衬底材料的改变不会导致薄膜微观结构发生明显改变;但是衬底温度升高将导致薄膜中sp~2键和sp~3键含量的减少、sp~3/sp~2比值减小、非晶态的sp~2键向石墨相的转化并发生晶化、石墨晶粒的数量增多或体积增大。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:5328672 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/46631]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.安徽省立医院胸心外科 3.安徽省立医院胸心外科 4.合肥工业大学电子科学与应用物理学院 5.合肥工业大学电子科学与应用物理学院 6.合肥工业大学电子科学与应用物理学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 罗乐,蒋大鹏,孙伟,等. 衬底对脉冲激光沉积类金刚石薄膜微观结构的影响[J]. 应用激光,2014,34. |
| APA | 罗乐,蒋大鹏,孙伟,严中亚,程光存,&方晓东.(2014).衬底对脉冲激光沉积类金刚石薄膜微观结构的影响.应用激光,34. |
| MLA | 罗乐,et al."衬底对脉冲激光沉积类金刚石薄膜微观结构的影响".应用激光 34(2014). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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