等离子体离子能量自动分析器的研制和应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴先球1; 陈俊芳1; 蒋珍美1; 熊予莹1; 吴开华1; 任兆杏6 |
| 刊名 | 电子学报
 |
| 出版日期 | 2003 |
| 卷号 | 031 |
| 关键词 | 离子能量分布 器件损伤 自动能量分析器 ECR－PECVD |
| ISSN号 | 0372-2112 |
| 其他题名 | Development and Application for Auto-Analyzer of Plasma lon Energy |
| 英文摘要 | 为了快速获得等离子体离子能量的分布规律，研制了一套等离子体离子能量自动分析器．离子能量自动分析器由多极型探头和计算机控制的测量系统组成．利用离子能量自动分析器在线测量了ECR等离子体中离子能量分布范围为12-42eV，不存在对被加工的半导体器件表面产生损伤的高能离子，从而ECR等离子体技术适合于在半导体器件加工中应用． |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1304389 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/48225]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.华南师范大学物理系 2.中国科学院等离子体物理研究所 3.华南师范大学物理系 4.华南师范大学物理系 5.华南师范大学物理系 6.华南师范大学物理系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴先球,陈俊芳,蒋珍美,等. 等离子体离子能量自动分析器的研制和应用[J]. 电子学报,2003,031. |
| APA | 吴先球,陈俊芳,蒋珍美,熊予莹,吴开华,&任兆杏.(2003).等离子体离子能量自动分析器的研制和应用.电子学报,031. |
| MLA | 吴先球,et al."等离子体离子能量自动分析器的研制和应用".电子学报 031(2003). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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