高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张连翰2; 孙敦陆2 ; 钱小波4; 杭寅4
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| 刊名 | 人工晶体学报
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| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 031 |
| 关键词 | 高温超导薄膜 衬底材料 LaAlO3单晶 超光滑表面抛光 研究 铝酸镧单晶 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| 英文摘要 | 本文以化学机械抛光为手段，以原子力显微镜（AFM）为工具，对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究。既观察到由传统光学表面超光滑表达过渡的过程，又观察到超光滑表面加工的结果－－表面的本征化。显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1016524 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/50959]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院上海光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院上海光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张连翰,孙敦陆,钱小波,等. 高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究[J]. 人工晶体学报,2002,031. |
| APA | 张连翰,孙敦陆,钱小波,&杭寅.(2002).高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究.人工晶体学报,031. |
| MLA | 张连翰,et al."高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光研究".人工晶体学报 031(2002). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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