容性耦合射频（CCRF）放电等离子体特性实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | Teuner D2; 黄建军3; 刘正之1; 梁荣庆1 |
| 刊名 | 真空科学与技术
 |
| 出版日期 | 2002 |
| 卷号 | 022 |
| 关键词 | 容性耦合射频放电 等离子体 实验研究 等效电路模型 放电特性 |
| ISSN号 | 0253-9748 |
| 其他题名 | Experimental Study of Electrical Characteristics of CCRF Discharge |
| 英文摘要 | 利用自行研制的传感器和测量装置，通过对放射频放电电压电流以及其相位角的测定，算出放电算的总阻抗，结合放电管的等效电路，对容性耦合射频（CCRF）激励激光放电特性进行研究，得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线，以及等离子体电阻，容抗与气体压器，放电电流之间的实验曲线，在Godyak射频放电模型的基础上得出等离子体的电子密度，并同内置铜电极射频激励铜离子激光器阻抗特性进行了比较。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:1362406 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/52023]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院等离子体物理研究所 2.德国鲁尔大学电子工程与信息技术系 3.深圳大学理学院 4.中国科学院等离子体物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Teuner D,黄建军,刘正之,等. 容性耦合射频（CCRF）放电等离子体特性实验研究[J]. 真空科学与技术,2002,022. |
| APA | Teuner D,黄建军,刘正之,&梁荣庆.(2002).容性耦合射频（CCRF）放电等离子体特性实验研究.真空科学与技术,022. |
| MLA | Teuner D,et al."容性耦合射频（CCRF）放电等离子体特性实验研究".真空科学与技术 022(2002). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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