硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真
文献类型：期刊论文
| 作者 | 平文1; 孔德义2 ; 单建华3
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| 刊名 | 仪表技术与传感器
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| 出版日期 | 2017 |
| 卷号 | 000 |
| 关键词 | 谐振式压力传感器 敏感结构 谐振梁 硅膜 模态仿真 灵敏度 |
| ISSN号 | 1002-1841 |
| 其他题名 | Design and Simulation of Sensing Structure of Silicon Resonant Pressure Sensor |
| 英文摘要 | 根据双端固支梁的谐振频率求解,以及方形膜片在压力下形变和应力的理论分析,设计了一个基于梁-膜结构硅谐振式压力传感器敏感结构的模型。对该模型进行ANSYS仿真,得到它在1个大气压下的总形变和应力分布,以及前六阶的振动模态。比较方形膜片和长方形膜片下敏感结构的仿真结果,得出相同面积下长方形膜片的灵敏度更高,检测时非线性误差更小。通过对不同厚度硅梁与硅膜下敏感结构的仿真,最终设定硅膜与硅梁的厚度分别为50μm和10μm。该传感器主要用于航空仪器仪表中对大气压的高精度检测。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:5955154 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/53673]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.合肥工业大学电子科学与应用物理学院 2.中国科学院合肥智能机械研究所 3.安徽工业大学机械工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 平文,孔德义,单建华. 硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真[J]. 仪表技术与传感器,2017,000. |
| APA | 平文,孔德义,&单建华.(2017).硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真.仪表技术与传感器,000. |
| MLA | 平文,et al."硅谐振式压力传感器敏感结构设计与仿真".仪表技术与传感器 000(2017). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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