过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张新月1; 姚宁2; 王英俭3 ; 张兵临2
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| 刊名 | 人工晶体学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 037 |
| 关键词 | 非晶碳薄膜 过渡层 场发射 功函数 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| 其他题名 | Effect of Transition Layer on Electron Field Emission Characteristics of Nano-structure Amorphous Carbon Film |
| 英文摘要 | 采用微波等离子体化学气相沉积法在经研磨处理后的Si（111）面上制备出了纳米非晶碳薄膜。为改善薄膜的场发射性能，在研磨好的Si基底上运用直流磁控溅射法沉积了一层金属过渡层。本文分别选择三种常见金属：钛（Ti）、钼（Mo）、镍（Ni）来作对比试验。结果发现用钛作为过渡层时薄膜场发射效果最好，主要表现为开启电场低，同一电场下发射电流大，发射点密度较大且分布均匀等。利用迭代法计算了钛作为过渡层时制备的纳米非晶碳薄膜的有效发射面积和功函数。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3344138 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/54731]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.郑州航空工业管理学院 2.郑州大学 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.郑州大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张新月,姚宁,王英俭,等. 过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响[J]. 人工晶体学报,2008,037. |
| APA | 张新月,姚宁,王英俭,&张兵临.(2008).过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响.人工晶体学报,037. |
| MLA | 张新月,et al."过渡层对纳米非晶碳薄膜场发射性能的影响".人工晶体学报 037(2008). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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