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氧流量对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响

文献类型:期刊论文

作者王贺权 ; 沈辉 ; 巴德纯 ; 汪保卫 ; 闻立时
刊名中山大学学报:自然科学版
出版日期2005
卷号44期号:6页码:36-40
合作状况其它
收录类别其他
语种中文
公开日期2009-12-09 ; 2010-10-15
源URL[http://ir.giec.ac.cn/handle/344007/417]  
专题中国科学院广州能源研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王贺权,沈辉,巴德纯,等. 氧流量对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响[J]. 中山大学学报:自然科学版,2005,44(6):36-40.
APA 王贺权,沈辉,巴德纯,汪保卫,&闻立时.(2005).氧流量对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响.中山大学学报:自然科学版,44(6),36-40.
MLA 王贺权,et al."氧流量对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响".中山大学学报:自然科学版 44.6(2005):36-40.

入库方式: OAI收割

来源:广州能源研究所

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