kHz准分子激光器全固态脉冲激励源
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王庆胜1 ; 游利兵1; 余吟山1; 赵家敏1; 方晓东1
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| 刊名 | 强激光与粒子束
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| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 004 |
| 关键词 | 准分子激光器 全固态脉冲功率模块 磁开关 磁脉冲压缩 |
| ISSN号 | 1001-4322 |
| 其他题名 | All solid state pulse excitation source for kHz excimer laser |
| 英文摘要 | 由于寿命制约，准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块，使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲，利用磁脉冲压缩技术将上升时间为μs级高压脉冲压缩至满足准分子激光器使用的上升时间为0．1μs级高压脉冲。在ArF准分子激光头上放电，获得激励脉冲的上升时间约为90ns，放电电压16．5kV，重复频率达到1kHz，两级磁脉冲压缩开关能量传递效率达59．1％。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4785819 |
| 源URL | [http://ir.hfcas.ac.cn:8080/handle/334002/57593]  |
| 专题 | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 作者单位 | 1.中国科学院安徽光学精密机械研究所 2.中国科学院安徽光学精密机械研究所 3.中国科学院安徽光学精密机械研究所 4.中国科学院安徽光学精密机械研究所 5.中国科学院安徽光学精密机械研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王庆胜,游利兵,余吟山,等. kHz准分子激光器全固态脉冲激励源[J]. 强激光与粒子束,2013,004. |
| APA | 王庆胜,游利兵,余吟山,赵家敏,&方晓东.(2013).kHz准分子激光器全固态脉冲激励源.强激光与粒子束,004. |
| MLA | 王庆胜,et al."kHz准分子激光器全固态脉冲激励源".强激光与粒子束 004(2013). |
入库方式： OAI收割
来源：合肥物质科学研究院
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